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标题
Two‐Inch Wafer‐Scale Exfoliation of Hexagonal Boron Nitride Films Fabricated by RF‐Sputtering
射频溅射制备六方氮化硼薄膜的2英寸晶片级剥离
相关领域
材料科学 溅射 剥脱关节 光电子学 剥离（纤维） 薄脆饼 氮化硼 氧化铟锡 薄膜 纳米技术 石墨烯 复合材料
网址
https://doi.org/10.1002/adfm.202206094
DOI
10.1002/adfm.202206094 doi
其它 期刊：Advanced Functional Materials
作者：Qiang Li; Mingdi Wang; Yongkang Bai; Qifan Zhang; Haoran Zhang; et al
出版日期：2022-07-10
求助人
sci来来来 在 2024-11-30 23:36:26 发布自上海，悬赏 10 积分
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