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标题
Block-based inverse lithography technology with adaptive level-set algorithm
基于块的自适应水平集算法的逆光刻技术
相关领域
平版印刷术 块（置换群论） 反向 集合（抽象数据类型） 算法 计算机科学 材料科学 数学 组合数学 光电子学 程序设计语言 几何学
网址
https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2024.112211
DOI
10.1016/j.optlastec.2024.112211 doi
其它 期刊：Optics & Laser Technology
作者：Chaojun Huang; Xu Ma; Shengen Zhang; Lin Mu; Néstor Porras-Díaz; et al
出版日期：2024-11-28
求助人
勤劳怜寒 在 2024-12-03 09:48:18 发布自四川，悬赏 10 积分
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