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 History of atomic layer deposition and its relationship with the American Vacuum Society 原子层沉积的历史及其与美国真空学会的关系
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期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：Gregory N. Parsons; Jeffrey W. Elam; Steven M. George; Suvi Haukka; Hyeongtag Jeon; et al 出版日期：2013-08-16 |
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