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 Vertically Integrated Self‐Monitoring AlGaN‐Based Deep Ultraviolet Micro‐LED Array with Photodetector Via a Transparent Sapphire Substrate Toward Stable and Compact Maskless Photolithography Application 垂直集成自监测AlGaN基深紫外微LED阵列，通过透明蓝宝石衬底实现稳定和紧凑的无掩模光刻应用
相关领域
光刻
材料科学
光电子学
光电探测器
紫外线
蓝宝石
基质（水族馆）
发光二极管
纳米技术
光学
激光器
海洋学
物理
地质学
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| 其它 |
期刊：Laser & Photonics Review 作者：Huabin Yu; Jikai Yao; Muhammad Hunain Memon; Yuanmin Luo; Zhixiang Gao; et al 出版日期：2024-09-26 |
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