Improving electrical transport properties of AlGaN/GaN heterostructure using AlSiN passivation

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标题	Improving electrical transport properties of AlGaN/GaN heterostructure using AlSiN passivation 利用AlSiN钝化改善AlGaN/GaN异质结构的电输运性能相关领域钝化材料科学异质结光电子学宽禁带半导体电介质阻挡层图层（电子）复合材料
网址	https://doi.org/10.1016/j.matlet.2022.133522
DOI	10.1016/j.matlet.2022.133522 doi
其它	期刊：Materials Letters 作者：Fengfeng Liu; Yuxiong Li; Zhanpeng Sui; Hanbin Wang; Yi Luo; et al 出版日期：2022-11-01
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