A Sc0.096Al0.904N-Based Bimorph Piezoelectric MEMS Microphone Using 3 × 3 Circular Diaphragms

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标题	A Sc0.096Al0.904N-Based Bimorph Piezoelectric MEMS Microphone Using 3 × 3 Circular Diaphragms 基于SC0.096Al 0.904 N的3 × 3圆形振膜双晶片压电MEMS麦克风相关领域双晶片微电子机械系统压电话筒声学材料科学物理光电子学扬声器
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/16/10508280/10475899.pdf...
DOI	10.1109/ted.2024.3376320 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Bohao Hu; Wenjuan Liu; Yan Liu; Chaoxiang Yang; Zekai Wang; et al 出版日期：2024-03-20
求助人	Xianhao 在 2024-11-06 21:53:21 发布自浙江，悬赏 10 积分
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