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 High-productivity direct-write e-beam lithography: an enabling patterning technology to augment your lithography toolbox 高生产率直写电子束光刻：一种增强光刻工具箱的图案化技术
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期刊： 作者：K.P. MacWilliams; Andrew Ceballos; Ted Prescop; David Lam 出版日期：2023-05-01 |
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