| 标题 |
 The application of optical resolution enhancement technology and e-beam direct writing technology in microfabrication 光学分辨率增强技术和电子束直写技术在微细加工中的应用
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Qiu Yu-lin; Baoqin Chen; Ming Liu; Qiuxia Xu; Lijun Xue; et al 出版日期：2005-01-27 |
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