标题 |
Investigation on defect control for final chemical mechanical polishing of aluminum alloy
铝合金最终化学机械抛光缺陷控制研究
相关领域
合金
材料科学
铝
抛光
硝酸
卤化
表面粗糙度
泥浆
冶金
化学机械平面化
复合材料
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DOI | |
其它 |
期刊:Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part J: Journal of Engineering Tribology 作者:Guoshun Pan; H. Gong; Zhonghua Gu; Chunli Zou; Gaopan Chen 出版日期:2014-06-24 |
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