Fluorine Etching in Porous Silicon: An Ab-Initio Molecular Dynamics Study

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标题	Fluorine Etching in Porous Silicon: An Ab-Initio Molecular Dynamics Study 多孔硅中氟腐蚀的从头算分子动力学研究相关领域氟材料科学多孔硅硅蚀刻（微加工）分子动力学化学物理氢 Atom（片上系统）密度泛函理论多孔性从头算物理化学计算化学纳米技术光电子学复合材料冶金化学有机化学图层（电子）计算机科学嵌入式系统
网址	https://doi.org/10.1149/2.0301704jss
DOI	10.1149/2.0301704jss doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Marisol R. Arcos; Chumín Wang 出版日期：2017-01-01
求助人	敏感的曼香在 2024-04-08 20:48:19 发布自山东，悬赏 10 积分
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