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标题
Fluorine Etching in Porous Silicon: An Ab-Initio Molecular Dynamics Study
多孔硅中氟腐蚀的从头算分子动力学研究
相关领域
氟 材料科学 多孔硅 硅 蚀刻（微加工） 分子动力学 化学物理 氢 Atom（片上系统） 密度泛函理论 多孔性 从头算 物理化学 计算化学 纳米技术 光电子学 复合材料 冶金 化学 有机化学 图层（电子） 计算机科学 嵌入式系统
网址
https://doi.org/10.1149/2.0301704jss
DOI
10.1149/2.0301704jss doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Marisol R. Arcos; Chumín Wang
出版日期：2017-01-01
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敏感的曼香 在 2024-04-08 20:48:19 发布自山东，悬赏 10 积分
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