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Analysis of dislocation configurations in SiC crystals through X-ray topography aided by ray tracing simulations
X射线形貌分析SiC晶体中位错构型
相关领域
材料科学
碳化硅
同步加速器
位错
硅
半导体
X射线
光线追踪(物理)
光电子学
光学
薄脆饼
复合材料
物理
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Qianyu Cheng; Zeyu Chen; Shanshan Hu; Yafei Liu; Balaji Raghothamachar; et al 出版日期:2024-05-01 |
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