对光刻工艺中在光阻底部增加抗反射涂层(BARC)的研究

已关闭

文献求助详情

标题	[高分] 学位论文对光刻工艺中在光阻底部增加抗反射涂层(BARC)的研究
网址	http://dx.doi.org/10.7666/d.y1676143
DOI	10.7666/d.y1676143 doi
求助人	燃尽人间色在 2023-09-04 09:40:08 发布自辽宁，悬赏 50 积分
下载

上个求助

求助 / 应助时间线

1年前，求助关闭

燃尽人间色求助人 Lv1 关闭了本次求助。

说明已查到【积分已退回】
1年前

燃尽人间色求助人 Lv1 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: xfyxxh完成签到，获得积分10

1秒前; fbwg完成签到，获得积分10

1秒前; 震动的白山完成签到，获得积分10

1秒前; 研友_LwlAgn完成签到，获得积分10

1秒前; 深情海秋完成签到，获得积分10

1秒前; 剑影完成签到，获得积分10

2秒前; 冰刀完成签到，获得积分10

2秒前; YutingHao完成签到，获得积分10

3秒前; 噼里啪啦发布了新的文献求助30

3秒前; 阿科完成签到，获得积分10

3秒前; 飞快的小懒虫完成签到，获得积分10

4秒前; 欢呼的傲旋完成签到，获得积分10

5秒前; 爱岛观子发布了新的文献求助10

5秒前; 怕孤单的若颜完成签到，获得积分10

5秒前; 科研通AI2S的应助被小王采纳，获得10

5秒前; 栗子芸完成签到，获得积分10

5秒前; shashouzongshuai完成签到，获得积分10

6秒前; 啦啦啦的应助被kzg采纳，获得10

7秒前; teborlee完成签到，获得积分10

7秒前; 硬嗑苹果的花生完成签到，获得积分20

7秒前; 科研通AI2S的应助被xwx采纳，获得10

7秒前; 执着手套完成签到，获得积分10

9秒前; 传奇3上传了应助文件

9秒前; 我是老大的应助被研友_LwlAgn采纳，获得10

9秒前; 阿拉波波完成签到，获得积分10

9秒前; xinxin完成签到，获得积分10

10秒前; bkagyin上传了应助文件

10秒前; 天真依玉完成签到，获得积分10

10秒前; 科目三的应助被DTL哈哈采纳，获得10

11秒前; li完成签到，获得积分10

12秒前; 朴实的亿先完成签到，获得积分10

13秒前; 黑宝坨完成签到，获得积分10

13秒前; XudongHou发布了新的文献求助30

14秒前; 刘稀完成签到，获得积分10

14秒前; CCCCPUTA发布了新的文献求助10

15秒前; HY兑完成签到，获得积分10

15秒前; pophoo完成签到，获得积分10

16秒前; JJ完成签到，获得积分10

16秒前; 科目三上传了应助文件

16秒前; 兴奋中道完成签到，获得积分10

16秒前