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Accurate and efficient height extraction in chromatic confocal microscopy using corrected fitting of the differential signal
差分信号校正拟合在彩色共焦显微镜中精确有效的高度提取
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期刊:Precision Engineering 作者:Cheng Chen; Wenjun Yang; Jian Wang; Wenlong Lu; Xiaojun Liu; et al 出版日期:2019-03-01 |
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