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 Compact source and beam delivery system for EUV radiation using a Schwarzschild objective 使用Schwarzschild物镜的EUV辐射的紧凑型源和光束传输系统
相关领域
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：K. Mann; Frank Barkusky; Armin Bayer; Christian Peth; H. Toettger; et al 出版日期：2005-08-18 |
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