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![]() 采用无STI动态栅极和自钝化侧壁的逻辑工艺兼容RRAM,密度为15.43 Mb/mm2,在150°C下保持10年
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期刊: 作者:Qishen Wang; Yuhang Yang; Zongwei Wang; Shengyu Bao; Jingwei Sun; et al 出版日期:2023-12-09 |
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