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标题
Diffraction-limited high-efficiency extreme ultraviolet metalens at 13.5 nm wavelength based on nanohole array in molybdenum membrane
基于钼膜纳米孔阵列的13.5 nm衍射受限高效极紫外金属透镜
相关领域
极端紫外线 光学 材料科学 衍射 钼 波长 紫外线 光电子学 衍射效率 膜 激光器 物理 化学 生物化学 冶金
网址
https://doi.org/10.1117/1.oe.63.6.067105
DOI
10.1117/1.oe.63.6.067105 doi
其它 期刊：Optical Engineering
作者：Shengchao Duan; Huiwen Xue; He Li; Changqing Xie; Lina Shi
出版日期：2024-06-26
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MADKAI 在 2025-03-04 10:02:04 发布自浙江，悬赏 20 积分
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