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 Design and feedforward control of a two-degree-of-freedom positioning stage with bidirectional piezoelectric drive 双向压电驱动二自由度定位平台的设计与前馈控制
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期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Junkai Lian; Dawei An; Mingyang Chen; Weiqing Huang; Zhongwei Liang 出版日期：2023-05-01 |
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