Influence of low energy ion irradiation on oxygen deficient hafnium oxide (HfO2) thin films

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标题	Influence of low energy ion irradiation on oxygen deficient hafnium oxide (HfO2) thin films 低能离子辐照对缺氧氧化铪（HfO2）薄膜的影响相关领域材料科学 X射线光电子能谱分析化学（期刊）薄膜无定形固体辐照原子层沉积结晶学纳米技术化学化学工程物理核物理学色谱法工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s10854-023-10614-4
DOI	10.1007/s10854-023-10614-4 doi
其它	期刊：Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者：Sikta Mandal; Udai P. Singh; Pravin Kumar 出版日期：2023-05-01
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