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 Localized DLC etching by a non-thermal atmospheric-pressure helium plasma jet in ambient air 环境空气中非热大气压氦等离子体射流的局部DLC蚀刻
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Jun‐Seok Oh; Yoshiaki Kakuta; Yuki Yasuoka; Hiroshi Furuta; Akimitsu Hatta 出版日期：2014-09-16 |
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