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 Hard Mask Open Tilting Improvement with Advanced Source Coil 利用先进源线圈改进硬掩模开放倾斜
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材料科学
电磁线圈
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薄脆饼
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期刊：2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 作者：Xiantao Luo; Qiang Ge; Ying Huang 出版日期：2022-06-20 |
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StevenZhao
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