Smart single-chip gas sensor microsystem

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标题	Smart single-chip gas sensor microsystem 智能单芯片气体传感器微系统相关领域微系统微电子炸薯条信号调节电容感应集成电路材料科学纳米技术信号（编程语言）微电子机械系统计算机科学 CMOS芯片计算机硬件光电子学电气工程工程类电信功率（物理）物理程序设计语言量子力学
网址	https://doi.org/10.1038/35104535
DOI	10.1038/35104535 doi
其它	期刊：Nature 作者：Christoph Hagleitner; Andreas Hierlemann; D. Lange; A. Kummer; N. Kerness; et al 出版日期：2001-11-01
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