标题 |
Unraveling the nature of sensing in electrostatic MEMS gas sensors
揭示静电MEMS气体传感器的传感本质
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响应度
微电子机械系统
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期刊:Microsystems & Nanoengineering 作者:Yasser S. Shama; Sasan Rahmanian; Hamza Mouharrar; Rana Abdelrahman; Alaaeldin Elhady; et al 出版日期:2024-05-06 |
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