High-Quality Film Bulk Acoustic Resonators Fabricated on AlN Films Grown by a New Two-Step Method - 科研通

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标题	High-Quality Film Bulk Acoustic Resonators Fabricated on AlN Films Grown by a New Two-Step Method 两步法生长AlN薄膜制备高质量薄膜体声谐振器相关领域材料科学化学气相沉积金属有机气相外延薄脆饼光电子学谐振器物理气相沉积溅射溅射沉积蓝宝石结晶度表面粗糙度薄膜电子工程图层（电子）复合材料纳米技术光学外延激光器物理工程类
网址	https://doi.org/10.1109/led.2022.3164972
DOI	10.1109/led.2022.3164972 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Xinyan Yi; Zhao Li; Peidong Ouyang; Hongbin Liu; Tielin Zhang; et al 出版日期：2022-06-01
求助人	conlensce 在 2024-12-04 11:16:51 发布自江苏，悬赏 10 积分
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