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  High-Performance Piezoelectric-Type MEMS Vibration Sensor Based on LiNbO3 Single-Crystal Cantilever Beams 基于LiNbO3单晶悬臂梁的高性能压电型MEMS振动传感器
相关领域
悬臂梁
振动
材料科学
微电子机械系统
压电
声学
加速度
铌酸锂
振幅
梁（结构）
验证质量
光学
光电子学
物理
复合材料
经典力学
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| 其它 |
期刊：Micromachines 作者：Huifen Wei; Wenping Geng; Kaixi Bi; Tao Li; Xiangmeng Li; et al 出版日期：2022-02-19 |
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