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 Influence of polycrystalline silicon as electrical shield on reliability and stability of piezoresistive sensors 多晶硅作为电屏蔽对压阻传感器可靠性和稳定性的影响
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：P.L.P. Hoa; G. Suchaneck; Gerald Gerlach 出版日期：2005-02-11 |
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