A review on MEMS based micro displacement amplification mechanisms

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标题	A review on MEMS based micro displacement amplification mechanisms 基于MEMS的微位移放大机制研究进展相关领域机制（生物学）流离失所（心理学）微电子机械系统杠杆执行机构顺应机制材料科学工程类机械工程纳米技术结构工程电气工程物理量子力学心理学有限元法心理治疗师
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2019.111666
DOI	10.1016/j.sna.2019.111666 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A-physical 作者：Sohail Iqbal; Afzaal M. Malik 出版日期：2019-10-13
求助人	guangyu 在 2024-11-26 19:02:26 发布自吉林，悬赏 10 积分
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