Physical model-based ArF photoresist formulation development

已完结

文献求助详情

标题	Physical model-based ArF photoresist formulation development 基于物理模型的ArF光刻胶配方开发相关领域光刻胶纳米技术材料科学计算机科学图层（电子）
网址	https://pubs.aip.org/aip/adv/article-pdf/doi/10.1063/5.01866...
DOI	10.1063/5.0186648 doi
其它	期刊：AIP Advances 作者：Liwan Yue; Zhibiao Mao; Qiang Wu; Yanli Li; Yanqiu Li 出版日期：2024-02-01
求助人	花花猪1989 在 2025-02-18 11:19:53 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

National Center for Biotechnology Information

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 七斤文发布了新的文献求助10

1秒前; L123发布了新的文献求助10

1秒前; 玛茵糖发布了新的文献求助20

3秒前; 英俊的铭的应助被星星子采纳，获得10

4秒前; 充电宝的应助被华华采纳，获得10

4秒前; 九方嘉许上传了应助文件

4秒前; 隐形半烟完成签到，获得积分10

5秒前; 阿绿发布了新的文献求助10

6秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

8秒前; 科目三的应助被闻老头菊花碳采纳，获得10

9秒前; 夏枯草发布了新的文献求助10

9秒前; L123完成签到，获得积分20

10秒前; 魏蒙完成签到，获得积分20

10秒前; bkagyin的应助被塵亦采纳，获得10

10秒前; 无花果的应助被隐形半烟采纳，获得10

10秒前; 袁姣完成签到，获得积分10

11秒前; 蚂虾完成签到，获得积分10

12秒前; Jana上传了应助文件

12秒前; 小乔同学发布了新的文献求助10

14秒前; 令狐凌波完成签到，获得积分10

14秒前; FashionBoy上传了应助文件

14秒前; Jana的应助被queer采纳，获得10

14秒前; 完美世界上传了应助文件

15秒前; JamesPei的应助被怕孤独的盼波采纳，获得10

17秒前; 无花果的应助被Weylai采纳，获得10

18秒前; 李爱国上传了应助文件

18秒前; Stone发布了新的文献求助30

19秒前; 孙小雨发布了新的文献求助10

19秒前; 科目三上传了应助文件

19秒前; 摸电门的猫发布了新的文献求助10

21秒前; 闻老头菊花碳完成签到，获得积分10

21秒前; 情怀的应助被单纯的爆米花采纳，获得10

23秒前; 酷波er上传了应助文件

24秒前; 六六发布了新的文献求助10

24秒前; 闻老头菊花碳发布了新的文献求助10

24秒前; 美丽的凌蝶完成签到，获得积分10

25秒前; murmur完成签到，获得积分10

29秒前; 白糖发布了新的文献求助30

29秒前; 不安云朵发布了新的文献求助10

32秒前; YiXianCoA完成签到，获得积分10

33秒前