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标题
Evaluation of single layer adhesive material for thin wafer handling applications
用于薄晶片处理应用的单层粘合材料的评估
相关领域
胶粘剂 薄脆饼 图层(电子) 材料科学 晶圆规模集成 计算机科学 复合材料 光电子学
网址
DOI
10.1109/eptc.2017.8277548 doi
其它 期刊:
作者:Vasarla Nagendra Sekhar; Hongmiao Ji; Shinji Arimoto; Toru Okazawa; Takenori Fujiwara; et al
出版日期:2017-12-01
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