Hybrid polishing mechanism of single crystal SiC using mixed abrasive slurry (MAS)

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标题	Hybrid polishing mechanism of single crystal SiC using mixed abrasive slurry (MAS) 混合磨料浆复合抛光SiC单晶机理的研究相关领域抛光磨料材料科学泥浆化学机械平面化钻石胶体二氧化硅复合材料惰性纳米冶金化学有机化学涂层
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.cirp.2010.03.114
DOI	10.1016/j.cirp.2010.03.114 doi
求助人	英俊安荷在 2024-10-29 17:39:05 发布自江苏，悬赏 10 积分
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