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[高分] 学位论文 微区椭偏系统的开发与应用研究
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摘要：微区椭偏技术是一种具有高横向分辨率、高测量效率、无接触破坏的可视化测量技术，在材料科学、生物医学、半导体工业和集成电路等领域具有广泛的应用。进入21世纪后，纳米技术飞速发展，器件和材料也朝着小而精的趋势发展，微区椭偏技术由于其自身的优势与特点，在结合了计算机技术和自动化技术等新兴技术后从众多光学测量技术中脱颖而出。 微区椭偏技术迄今发展仅二十几年，仍然是一个新兴的领域，有着巨大的发展空间和广阔的应用前景。本文提出了一种单旋转补偿器微区椭偏系统，围绕其开发和应用展开研究。 首先，论文阐述了椭偏测量的基本原理，推导了单旋转补偿器微区椭偏测量的公式，为系统的开发提供理论基础。提出了设计目标，根据预设目标进行光源和光学器件选型，完成系统搭建和校准，并对系统的分辨率和光源稳定性进行分析，通过... 关键词： 微区椭偏系统折射率分布薄膜材料光学性质 授予学位： 硕士 学科专业： 工程硕士（电子与通信工程） 导师姓名： 连洁 学位年度： 2022 语种： 中文 分类号： O472.3(半导体物理学) 在线出版日期： 2022-10-11 （万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间） |
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