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 Low-temperature direct bonding of SiC and Ga2O3 substrates under atmospheric conditions 大气条件下低温直接键合SiC和Ga2 O3基片
相关领域
氢氟酸
材料科学
无定形固体
氧化剂
直接结合
晶片键合
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氧化物
化学键
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化学工程
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退火（玻璃）
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化学
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有机化学
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Takashi Matsumae; Yuichi Kurashima; Hideki Takagi; Hitoshi Umezawa; Eiji Higurashi 出版日期：2021-08-25 |
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