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 Characteristics of sputter-deposited Ru thin films on Si substrates 硅衬底上溅射沉积钌薄膜的特性
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期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Hsin‐Yi Lee; Yung-Wei Hsieh; Chia‐Hung Hsu; K. S. Liang 出版日期：2003-11-06 |
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