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Structural and chemical analysis of C : H,O /Si : H,O multilayers deposited by reactive RF sputtering
反应射频溅射沉积C:H,O/Si:H,O多层膜的结构和化学分析
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期刊:Solar Energy Materials and Solar Cells 作者:E. Ech‐chamikh; M. Azizan; E.L. Ameziane; A. Bennouna; M. Brunel; et al 出版日期:1993-11-01 |
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