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 48‐1: Invited Paper: Oxide Semiconductor Thin‐Film Transistors with Deep Submicron Channel Fabricated with Hyperlithography 48-1：特邀论文：用超光刻技术制作具有深亚微米沟道的氧化物半导体薄膜晶体管
相关领域
薄膜晶体管
材料科学
光电子学
晶体管
平版印刷术
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半导体
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期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers 作者：Changmin Sung; Sooji Nam; Sung Haeng Cho 出版日期：2023-06-01 |
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