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 Metal–Organic Chemical Vapor Deposition‐Grown AlScN for Microelectromechanical‐Based Acoustic Filter Applications 金属有机化学气相沉积生长的AlScN在微机电声学滤波器中的应用
相关领域
金属有机气相外延
材料科学
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化学气相沉积
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薄脆饼
外延
微电子机械系统
声表面波
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期刊：physica status solidi (a) 作者：Craig G. Moe; Jeff Leathersich; Devon Carlstrom; Frank Bi; Daeho Kim; et al 出版日期：2023-06-13 |
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