标题 |
Investigation of stochastic heating and its influence on plasma radial uniformity in biased inductively coupled Ar discharges by hybrid simulation
偏置电感耦合氩放电中随机加热及其对等离子体径向均匀性影响的混合模拟研究
相关领域
等离子体
偏压
物理
感应耦合等离子体
原子物理学
氩
等离子体参数
电压
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统计
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数学
量子力学
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期刊:Physics of Plasmas 作者:Jia-Wei Huang; Mingliang Zhao; Yuru Zhang; Fei Gao; You‐Nian Wang 出版日期:2023-04-01 |
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