Selective Wet and Dry Etching of NiO over β-Ga2O3

待确认

文献求助详情

标题	Selective Wet and Dry Etching of NiO over β-Ga2O3 NiO在β-Ga2O3上的选择性干湿蚀刻相关领域非阻塞I/O 蚀刻（微加工）干法蚀刻感应耦合等离子体分析化学（期刊）溶解反应离子刻蚀活化能选择性离子异质结材料科学化学无机化学等离子体物理化学纳米技术催化作用色谱法生物化学物理有机化学图层（电子）量子力学光电子学
网址	https://doi.org/10.1149/11102.0073ecst
DOI	10.1149/11102.0073ecst doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Chao-Ching Chiang; Xinyi Xia; Jian-Sian Li; F. Ren; S. J. Pearton 出版日期：2023-05-19
求助人	迷失的悠悠在 2025-02-12 22:28:19 发布自天津，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
3小时前

科研通AI2S 机器人Lv12 上传了文件

待审核 Chiang_2023_ECS_Trans._111_73.pdf (1.32 MB)
4小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

22:28:21 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

22:28:19 科研通AI机器人（中国香港）收到请求，开始寻找文献

22:28:19 已向机器人发送请求
4小时前

迷失的悠悠求助人 Lv3 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 完美世界上传了应助文件

6秒前; 甜美板栗发布了新的文献求助10

13秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

30秒前; 是hr不是hr上传了应助文件

40秒前; 甜美板栗完成签到，获得积分10

42秒前; 彭于晏上传了应助文件

1分钟前; 等待的问夏完成签到，获得积分10

1分钟前; Magali发布了新的文献求助50

1分钟前; mavissss完成签到，获得积分20

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

1分钟前; 烟花的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 深情安青的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; CodeCraft的应助被jiayou采纳，获得10

1分钟前; 可爱的函函的应助被mavissss采纳，获得10

1分钟前; 可爱的函函上传了应助文件

1分钟前; mavissss发布了新的文献求助10

1分钟前; 白粥完成签到，获得积分10

2分钟前; kbcbwb2002完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通管家关闭了Magali的文献求助

2分钟前; Magali发布了新的文献求助10

2分钟前; 华仔的应助被角鲸采纳，获得10

3分钟前; 二行完成签到，获得积分10

3分钟前; 空格TNT完成签到，获得积分10

3分钟前; Frank完成签到，获得积分10

3分钟前; 奋斗的雅柔发布了新的文献求助30

3分钟前; 汉德萌多林完成签到，获得积分10

3分钟前; 大模型上传了应助文件

3分钟前; 肥肥完成签到，获得积分10

3分钟前; loen完成签到，获得积分10

4分钟前; Perry完成签到，获得积分10

4分钟前; 竹子完成签到，获得积分10

4分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

4分钟前; CipherSage的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 英俊的铭的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 帅气惜霜完成签到，获得积分10

5分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

5分钟前; 是hr不是hr上传了应助文件

5分钟前; 喝可乐的萝卜兔完成签到，获得积分10

6分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

6分钟前