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 Lanthanide-Assisted Deposition of Strongly Electro-optic PZT Thin Films on Silicon: Toward Integrated Active Nanophotonic Devices 镧系元素辅助在硅上沉积强电光PZT薄膜：集成有源纳米光子器件
相关领域
材料科学
纳米光子学
镧系元素
硅
薄膜
光电子学
沉积（地质）
纳米技术
离子
沉积物
量子力学
生物
物理
古生物学
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：John P. George; Philippe F. Smet; Jonas Botterman; Vitaliy Bliznuk; Wouter Woestenborghs; et al 出版日期：2015-06-04 |
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