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Comparative analysis of structural characteristics and thermal insulation properties of ZrO2 thin films deposited via chemical and physical vapor phase processes
化学和物理气相沉积ZrO2薄膜的结构特征和隔热性能对比分析
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期刊:Thin Solid Films 作者:Alexandre Jaud; Laura Montalban Palmares; Alice Ravaux; Abderrahime Sekkat; Diane Samélor; et al 出版日期:2024-08-30 |
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