标题 |
Optimization of picosecond laser machining parameters for monocrystalline silicon based on Box-Behnken Design
基于Box-Behnken设计的皮秒激光加工单晶硅参数优化
相关领域
Box-Behnken设计
材料科学
单晶硅
硅
机械加工
激光器
皮秒
光电子学
响应面法
光学
冶金
计算机科学
物理
机器学习
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DOI | |
其它 |
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Zhe Li; Chuanzhen Huang; Li Wang; Shi Zhenyu; Longhua Xu; et al 出版日期:2024-12-04 |
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