Three-dimensional characterization of EUV mask blank defects with photoemission electron microscopy assisted by neural network transfer learning

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标题	Three-dimensional characterization of EUV mask blank defects with photoemission electron microscopy assisted by neural network transfer learning 基于神经网络迁移学习的光电发射电子显微镜三维表征EUV掩模坯料缺陷相关领域极紫外光刻光学空白表征（材料科学）材料科学光电发射电子显微术电子显微镜显微镜极端紫外线人工神经网络扫描电子显微镜计算机科学人工智能物理激光器复合材料
网址	https://doi.org/10.1364/ao.547591
DOI	10.1364/ao.547591 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Jiawei Li; Bochao Li; ZhenLong Zhao; Xie Zhuo; Xiaowei Song; Jingquan Lin 出版日期：2025-01-17
求助人	hero_ljw 在 2025-02-11 09:09:43 发布自河北，悬赏 10 积分
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