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[高分]
 Failure analysis on MIMCAP failures of 10nm devices using phase angle measurement method 基于相位角测量法的10nm器件MIMCAP失效分析
相关领域
电容器
图层（电子）
计算机科学
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期刊： 作者：Hsu Li khoo; Lay Lay Goh; Yi Jie N G; Kok Heng Lau; Chiun Ning Liew; et al 出版日期：2022-07-18 |
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