Effect of silicon-based substrates and deposition type on sputtered AlN thin films: Physical & chemical properties and suitability for piezoelectric device integration

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标题	Effect of silicon-based substrates and deposition type on sputtered AlN thin films: Physical & chemical properties and suitability for piezoelectric device integration 硅基衬底和沉积类型对溅射AlN薄膜的影响：物理化学性质及其在压电器件集成中的适用性相关领域压电材料科学薄膜硅光电子学沉积（地质）纳米技术复合材料古生物学沉积物生物
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.154017
DOI	10.1016/j.apsusc.2022.154017 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：M.A. Signore; L. Velardi; Chiara De Pascali; Iren Kuznetsova; Laura Blasi; et al 出版日期：2022-06-21
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