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Hot-zone design and optimization of resistive heater for SiC single crystal growth
SiC单晶生长用电阻加热器的热区设计与优化
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期刊:Journal of Materials Science 作者:Xinglong Wang; Xiaogang Xie; Wancheng Yu; Xiu Yang; Xiufang Chen; et al 出版日期:2024-05-14 |
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