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Fabrication of silicon nanobump arrays by near-field enhanced laser irradiation
近场增强激光辐照制备硅纳米凸块阵列
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期刊:Applied Physics Letters 作者:X. C. Wang; Hong Zheng; C. W. Tan; Fan Wang; H.Y. Yu; et al 出版日期:2010-02-22 |
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