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标题
Influence of growth temperature and scandium concentration on piezoelectric response of scandium aluminum nitride alloy thin films
生长温度和钪浓度对氮化钪铝合金薄膜压电响应的影响
相关领域
钪 材料科学 压电 氮化物 合金 薄膜 铝 晶粒生长 粒度 冶金 复合材料 纳米技术 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1063/1.3251072
DOI
10.1063/1.3251072 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Morito Akiyama; Kazuhiko Kano; Akihiko Teshigahara
出版日期：2009-10-19
求助人
LPhy_Z 在 2025-02-06 17:49:13 发布自河南，悬赏 10 积分
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