Precise optical surface profilometry using innovative chromatic differential confocal microscopy

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标题	Precise optical surface profilometry using innovative chromatic differential confocal microscopy 利用新型色差共焦显微镜进行精密光学表面轮廓测量相关领域光学共焦材料科学轮廓仪共焦显微镜显微镜显微镜色阶色差雷物理表面光洁度复合材料
网址	https://doi.org/10.1364/ol.41.005660
DOI	10.1364/ol.41.005660 doi
其它	期刊：Optics Letters 作者：Liang-Chia Chen; Duc Trung Nguyen; Yuan-Hsiou Chang 出版日期：2016-12-05
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