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 Plasma density and ion energy control via driving frequency and applied voltage in a collisionless capacitively coupled plasma discharge 无碰撞电容耦合等离子体放电中通过驱动频率和外加电压控制等离子体密度和离子能量
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期刊：Physics of Plasmas 作者：Sarveshwar Sharma; Abhijit Sen; Nishant Sirse; M. M. Turner; A. R. Ellingboe 出版日期：2018-08-01 |
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