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Sputtered AlOx interlayer for improving performance of a-InGaZnO TFTs: A study on hydrogen diffusion mitigation and electron modulation
溅射AlOx中间层改善a-InGaZnO薄膜晶体管性能的研究:氢扩散缓解和电子调制
相关领域
材料科学
调制(音乐)
扩散
氢
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电子
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宽禁带半导体
化学工程
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化学
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Bin Liu; Feng Wang; Xuyang Li; Dan Kuang; X.-J. Liu; et al 出版日期:2024-08-05 |
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