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 3D LiMn 2 O 4 Thin Film Deposited by ALD: A Road toward High‐Capacity Electrode for 3D Li‐Ion Microbatteries ALD沉积三维LiMn 2 O 4薄膜：三维锂离子微电池高容量电极之路
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期刊：Small 作者：Maxime Hallot; Viktor Nikitin; Oleg I Lebedev; Richard Retoux; David Troadec; et al 出版日期：2022-02-17 |
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